System detekcji - detektor helowy
Głównym elementem całego systemu jest detektor helowy korzystający ze spektrometru masowego wykrywającego cząsteczki helu. Ta metoda detekcji nieszczelności jest inicjowana w momencie, kiedy gaz znakujący, hel, jest wprowadzany do testowanego elementu podłączonego do systemu detektora nieszczelności ze spektrometrem masowym (system MSLD). Hel wyciekający z testowanego elementu przenika do systemu, mierzone jest jego ciśnienie cząstkowe, a wyniki są wyświetlane na mierniku. Opóźnienie w odpowiedz na hel jest obliczane jako stosunek funkcjonalnej objętości resztkowej komory i efektywnej szybkości pompowania detektora helowego. |  |
Zasada działania spektrometru masowego w helowym detektorze nieszczelności (MSLD = Detektor nieszczelności ze spektrometrem masowym, "Mass Spectrometer Leak Detector") Zasada działania MSDL polega na jonizacji gazów w próżni i przyspieszaniu różnych jonów poprzez spadek napięcia i pole magnetyczne. Jony helu są oddzielane i zbierane, a wynikający z tego sygnał jonowy jest wzmacniany i wyświetlany na mierniku. MSLD składa się z:
|  |
